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單項選擇題

下列哪些因素不會影響到顯影效果的是（）。

A.顯影液的溫度
B.顯影液的濃度
C.顯影液的溶解度
D.顯影液的化學(xué)成分

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多項選擇題

下列有關(guān)ARC工藝的說法正確的是（）。

A.ARC可以是硅的氮化物
B.可用干法刻蝕除去
C.ARC膜可以通過PVD或者CVD的方法形成
D.ARC在刻蝕中也可做為掩蔽層
E.ARC膜也可以通過CVD的方法形成

單項選擇題

下列關(guān)于曝光后烘烤的說法正確的是（）。

A.烘烤的目的是除去光刻膠中的水分
B.烘烤可以減輕曝光中的駐波效應(yīng)
C.烘烤的溫度一般在300℃左右
D.烘烤的時間越長越好