多項(xiàng)選擇題

下列有關(guān)ARC工藝的說(shuō)法正確的是（）。

A.ARC可以是硅的氮化物
B.可用干法刻蝕除去
C.ARC膜可以通過(guò)PVD或者CVD的方法形成
D.ARC在刻蝕中也可做為掩蔽層
E.ARC膜也可以通過(guò)CVD的方法形成

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