A.進(jìn)行去水烘烤以保證晶片干燥 B.在晶片表面涂上增粘劑以保證晶片黏附性好 C.剛剛處理好的晶片應(yīng)立即涂膠 D.貯存的晶片在涂膠前必須再次清洗及干燥 E.也可以直接使用貯存的晶片
A.150-200℃ B.200℃左右 C.250℃左右 D.300℃左右
A.CA光刻膠對深紫外光吸收小 B.CA光刻膠將吸收的光子能量發(fā)生化學(xué)轉(zhuǎn)化 C.CA光刻膠在顯影液中的可溶性強(qiáng) D.有較高的光敏度 E.有較高的對比度