多項(xiàng)選擇題

干氧氧化法具備以下一系列的優(yōu)點(diǎn)（）。

A.生長(zhǎng)的二氧化硅薄膜均勻性好
B.生長(zhǎng)的二氧化硅干燥
C.生長(zhǎng)的二氧化硅結(jié)構(gòu)致密
D.生長(zhǎng)的二氧化硅是很理想的鈍化膜
E.生長(zhǎng)的二氧化硅掩蔽能力強(qiáng)

微信掃碼免費(fèi)搜題