單項選擇題

干氧氧化法有一些優(yōu)點，但同時它的缺點有（）。

A.生長出的二氧化硅中引入很多可動離子
B.氧化的速度慢
C.生長的二氧化硅缺陷多
D.生長的二氧化硅薄膜鈍化效果差

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