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問答題
【論述題】常用濺射技術(shù)有哪幾種,簡述它們的工作原理和特點(diǎn)。
答案:
直流濺射——惰性氣體,如氬,送入低壓下的濺射腔體,電壓加在電極上產(chǎn)生等離子體。加負(fù)直流電壓的的是...
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問答題
【論述題】什么是濺射產(chǎn)額,其影響因素有哪些?簡述這些因素對濺射產(chǎn)額產(chǎn)生的影響。
答案:
濺射產(chǎn)額:影響因素:離子質(zhì)量、離子能量、靶原子質(zhì)量、靶的結(jié)晶性只有當(dāng)入射離子的能量超過一定能量(濺射閾值)時(shí),才能發(fā)生濺...
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問答題
【論述題】熱蒸發(fā)法淀積薄膜的淀積速率與哪些因素有關(guān)?淀積速率的測量采用什么辦法?
答案:
簡述其工作原理。淀積速率與蒸發(fā)材料溫度腔體形狀等因素有關(guān)。淀積速率通常用石英晶體速率指示儀測量。所用器件為一個(gè)諧振板,它...
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