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問答題
【簡答題】什么是兩步擴散工藝，其兩步擴散的目的分別是什么？
答案：
實際的擴散溫度一般為900-1200℃，在這個溫度范圍內(nèi)，雜質(zhì)在硅中的固溶度隨溫度變化不大，采用恒定表面源...
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問答題
【論述題】假設(shè)進行一次受固溶度限制的預(yù)淀積擴散，從摻雜玻璃源引入的雜質(zhì)總劑量為Qcm-2。
答案：
（1）如果這次預(yù)淀積進行了總共t分鐘，若預(yù)淀積溫度不變，引入3Qcm-2
問答題
【論述題】以P2O5為例，多晶硅中雜質(zhì)擴散的方式及分布情況。
答案：
在多晶硅薄膜中進行雜質(zhì)擴散的擴散方式與單晶硅中的方式是不同的，因為多晶硅中有晶粒間界存在，所以雜質(zhì)原子主要沿著晶粒間界進...
