問答題

【簡答題】什么是兩步擴(kuò)散工藝，其兩步擴(kuò)散的目的分別是什么？

答案：實(shí)際的擴(kuò)散溫度一般為900-1200℃，在這個(gè)溫度范圍內(nèi)，雜質(zhì)在硅中的固溶度隨溫度變化不大，采用恒定表面源...

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【論述題】假設(shè)進(jìn)行一次受固溶度限制的預(yù)淀積擴(kuò)散，從摻雜玻璃源引入的雜質(zhì)總劑量為Qcm^-2。

答案：（1）如果這次預(yù)淀積進(jìn)行了總共t分鐘，若預(yù)淀積溫度不變，引入3Qcm^-2

【論述題】以P₂O₅為例，多晶硅中雜質(zhì)擴(kuò)散的方式及分布情況。

答案：在多晶硅薄膜中進(jìn)行雜質(zhì)擴(kuò)散的擴(kuò)散方式與單晶硅中的方式是不同的，因?yàn)槎嗑Ч柚杏芯Яｉg界存在，所以雜質(zhì)原子主要沿著晶粒間界進(jìn)...