問(wèn)答題以P2O5為例,多晶硅中雜質(zhì)擴(kuò)散的方式及分布情況。
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題型:?jiǎn)柎痤}
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敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
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刻蝕工藝有哪兩種類型?簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。
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描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率之間的關(guān)系。
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