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問答題
【論述題】以P
2
O
5
為例,多晶硅中雜質(zhì)擴(kuò)散的方式及分布情況。
答案:
在多晶硅薄膜中進(jìn)行雜質(zhì)擴(kuò)散的擴(kuò)散方式與單晶硅中的方式是不同的,因?yàn)槎嗑Ч柚杏芯Яig界存在,所以雜質(zhì)原子主要沿著晶粒間界進(jìn)...
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答案:
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答案:
①交換式:兩相鄰原子由于有足夠高的能量,互相交換位置。②空位式:由于有晶格空位,相鄰原子能移動過來。③填隙式:在空隙中的...
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