多項選擇題

按蒸發(fā)源加熱方法的不同，真空蒸發(fā)工藝可分為：（）蒸發(fā)、（）蒸發(fā)、離子束蒸發(fā)等。

A.電阻加熱
B.電子束
C.蒸氣原子

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