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填空題

半導體材料可根據其性能、晶體結構、結晶程度、化學組成分類。比較通用的則是根據其化學組成可分為（）半導體、（）半導體、固溶半導體三大類。

答案：元素；化合物

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雜質原子在半導體中的擴散機理比較復雜，但主要可分為（）擴散和（）擴散兩種。

答案：替位；間隙

熱分解化學氣相淀積二氧化硅是利用（）化合物，經過熱分解反應，在基片表面淀積二氧化硅。

答案：含有硅的化合物

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