問答題

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答案：第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉(zhuǎn)涂膠，將硅片被固定在載片臺上，一定...

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答案：

暗場掩膜版是指一個掩膜版，它的石英版上大部分被鉻覆蓋，并且不透光。

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答案：（1）SiO₂淀積：用PECVD淀積內(nèi)層氧化硅到希望的厚度。
（2）SiN刻蝕阻擋層淀積...