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問答題

【簡(jiǎn)答題】解釋什么是暗場(chǎng)掩模板。

答案：

暗場(chǎng)掩膜版是指一個(gè)掩膜版，它的石英版上大部分被鉻覆蓋，并且不透光。

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（2）SiN刻蝕阻擋層淀積...

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