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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】MEMS的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)是什么？
答案：
MEMS器件和系統(tǒng)具有體積小、重量輕、功耗低、成本低、可靠性高、性能優(yōu)異、功能強(qiáng)大、可以批量生產(chǎn)等傳統(tǒng)機(jī)械無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】MEMS的定義是什么？
答案：
完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通信接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
