完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通信接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
Micro-Electro-Mechanical Systems
氣敏傳感器的特性主要有靈敏度;響應(yīng)時(shí)間;選擇性;穩(wěn)定性;溫度特性;濕度特性;電源電壓特性。