填空題

真空泵常見(jiàn)的有：（）六種結(jié)構(gòu)形式。

答案：滑閥式、旋片式、羅茨式、往復(fù)式、水環(huán)式、噴射式

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真空泵有（）和（）兩大指標(biāo)。

答案：抽氣速率；極限真空度

程序控制閥是由閥體、驅(qū)動(dòng)、（）三部分組成。

答案：閥位反饋

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