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真空泵有()和()兩大指標(biāo)。
答案:
抽氣速率;極限真空度
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填空題
程序控制閥是由閥體、驅(qū)動、()三部分組成。
答案:
閥位反饋
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填空題
有效氣體()是變壓吸附裝置主要考核指標(biāo)之一。
答案:
回收率
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