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名詞解釋
結(jié)深
答案：
雜質(zhì)擴(kuò)散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點(diǎn)的位置稱為結(jié)深。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】
說明擴(kuò)散雜質(zhì)的高斯分布特點(diǎn)（有限源擴(kuò)散屬于此分布）
答案：
①在整個(gè)擴(kuò)散過程中，雜質(zhì)總量保持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，擴(kuò)散溫度越高，則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質(zhì)濃度可控。
問答題
【簡(jiǎn)答題】
說明擴(kuò)散雜質(zhì)的余誤差函數(shù)分布特點(diǎn)（恒定表面源擴(kuò)散屬于此分布）
答案：
①雜質(zhì)表面濃度由該種雜質(zhì)在擴(kuò)散溫度下的固溶度所決定。當(dāng)擴(kuò)散溫度不變時(shí)，表面雜質(zhì)濃度維持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，...
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，...
