填空題

束流電流（強(qiáng)度）靠電子槍里的（）完成。束流聚焦靠（）完成，而束流的偏轉(zhuǎn)靠（）來實(shí)現(xiàn)。

答案： 陰極柵格；磁透鏡；偏轉(zhuǎn)線圈
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填空題

電子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三個(gè)方面。
答案： 束流強(qiáng)度；束流偏轉(zhuǎn)
填空題

電子束加工設(shè)備昂貴，并需要（）裝置。
答案： 抽真空
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