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填空題

電子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三個方面。

答案：束流強度；束流偏轉

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電子束加工設備昂貴，并需要（）裝置。

答案：抽真空

電子束加工可以加工出（）、銳邊。

答案：尖角