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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述濺射鍍膜的特征
答案:
(1)濺射出來(lái)的粒子角分布取決于入射粒子的方向.
(2)從單晶靶濺射出來(lái)的粒子顯示擇優(yōu)取向.
(3)...
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【簡(jiǎn)答題】電子顯微鏡下直接觀察薄膜蒸鍍過(guò)程,發(fā)現(xiàn)薄膜的生長(zhǎng)可以分為哪些?
答案:
(1)核生長(zhǎng)類(lèi)型(Volmer Veber型)
(2)層生長(zhǎng)型(Frank-Vanber ...
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【簡(jiǎn)答題】氣相法可分為哪些?
答案:
(1)物理氣相沉積,用物理凝聚的方法將多晶原料經(jīng)過(guò)氣相轉(zhuǎn)化為單晶體,如升華-凝結(jié)法、分子束外延法和陰極濺射法;
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