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【簡答題】簡述化學(xué)氣相沉積法的五個基本步驟
答案:
A.反應(yīng)物已擴(kuò)散通過界面邊界層;
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面;
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生;
D...
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【簡答題】簡述CVD技術(shù)的熱動力學(xué)原理——熱力學(xué)
答案:
化學(xué)氣相沉積是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑的蒸汽及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并把固體產(chǎn)物沉積...
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【簡答題】簡述CVD技術(shù)的反應(yīng)原理
答案:
CVD是一種材料表面改性技術(shù)。它利用氣相間的反應(yīng),在不改變基體材料的成分和不削弱的基體材料的強(qiáng)度條件下,賦予材料表面一些...
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