問答題

【簡答題】簡述化學(xué)氣相沉積法的五個基本步驟

答案: A.反應(yīng)物已擴(kuò)散通過界面邊界層;
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面;
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生;
D...
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問答題

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答案: 化學(xué)氣相沉積是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑的蒸汽及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并把固體產(chǎn)物沉積...
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