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問答題
【簡答題】簡述CVD技術(shù)的熱動(dòng)力學(xué)原理——熱力學(xué)
答案：
化學(xué)氣相沉積是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑的蒸汽及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并把固體產(chǎn)物沉積...
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問答題
【簡答題】簡述CVD技術(shù)的反應(yīng)原理
答案：
CVD是一種材料表面改性技術(shù)。它利用氣相間的反應(yīng)，在不改變基體材料的成分和不削弱的基體材料的強(qiáng)度條件下，賦予材料表面一些...
名詞解釋
化學(xué)氣相沉積
答案：
乃是通過化學(xué)反應(yīng)的方式，利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源，在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)...
