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問答題
簡述CVD技術的熱動力學原理——熱力學
參考答案:
化學氣相沉積是把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑的蒸汽及反應所需其它氣體引入反應室,在襯底表面發(fā)生化學反應,并把固體產物沉積...
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1.問答題
簡述CVD技術的反應原理
參考答案:
CVD是一種材料表面改性技術。它利用氣相間的反應,在不改變基體材料的成分和不削弱的基體材料的強度條件下,賦予材料表面一些...
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2.名詞解釋
化學氣相沉積
參考答案:
乃是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經...
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