從天然硅中獲得達到生產半導體器件所需純度的SGS要經過（）等步驟。

說明MOS器件噪聲的來源、成因及減小方法。

材料根據流經材電流的不同可分為三類（）。

把半導體級硅的多晶硅塊，轉換成一塊大的單晶硅的過程，稱作（）。生長后的單晶硅被稱為（）。

編寫DRC版圖驗證文件的主要依據是什么？