（1）檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方，如有，更換mask； （2）清理靶材邊緣，清理濺鍍倉。
（1）檢查母盤數(shù)量； （2）檢查白片溝深、溝寬、厚度； （3）檢查OD； （4）更換染料； （5）更換母盤。
