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問答題
石墨舟使用次數(shù)達(dá)到規(guī)范值時(shí)通知工藝進(jìn)行清線（）
A.正確
B．錯(cuò)誤
B．錯(cuò)誤
答案：
A.正確石墨舟是用于半導(dǎo)體制造過程中承載硅片進(jìn)行高溫處理的工具。在高溫爐中，石墨舟會(huì)受到化學(xué)和物理的侵蝕，隨著使用次數(shù)的...
