電子探針和X射線衍射儀一樣，都可以直接確定材料中所包含的物相。

被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。

每種晶體物質都有自己特定的晶體結構，晶體結構不同則X射線衍射花樣也就各不相同。

熱分析中，不同性質的氣氛對測試結果沒有影響。

利用電子探針的波譜儀，一個分光晶體能夠覆蓋的波長范圍有限的，因此一個分光晶體只能檢測一定原子序數(shù)范圍的元素。