多項選擇題超精密機床主軸的驅(qū)動方式主要有（）。
A.電動機通過帶傳動驅(qū)動
B.電動機通過柔性聯(lián)軸器驅(qū)動
C.采用內(nèi)裝式同軸電動機驅(qū)動
D.采用外裝式同軸電動機驅(qū)動
E.電動機通過剛性聯(lián)軸器驅(qū)動
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1.多項選擇題潔凈室是指將室內(nèi)空氣中（）的分布形式及其形狀等控制在一定范圍內(nèi)的房間。
A.塵埃微粒
B.溫度
C.壓力
D.流速
E.氣流
2.多項選擇題精密與超精密加工按加工方法可以分為（）等大類。
A.切削加工
B.磨削加工
C.研磨加工
D.拋光加工
E.復(fù)合加工
3.多項選擇題超精密加工中超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件主要指（）方面的條件。
A.恒溫
B.恒濕
C.防振
D.超凈
E.噪聲
4.多項選擇題激光加工設(shè)備主要包括電源、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。
A.激光器
B.光學(xué)系統(tǒng)
C.機械系統(tǒng)
D.控制系統(tǒng)
E.加溫系統(tǒng)
5.多項選擇題精密研磨、拋光時主要工藝因素有工藝設(shè)備、研具、磨粒、加工液、（）。
A.加工參數(shù)
B.加工環(huán)境
C.加工溫度
D.加工時間
E.加工質(zhì)量
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光電成形
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在電解批量加工時，電解液中的金屬氫氧化物的含量應(yīng)控制在（）以內(nèi)。
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噴油嘴、微型軸承、儀表齒輪、手表整體機芯、印刷電路板、集成電路微電子器件等的清洗，常采用什么方法可獲得好的效果？
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在剛玉類磨料中，以（）最好。
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