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單項(xiàng)選擇題
磷在硅熔體與晶體中的分凝系數(shù)約為0.35,這使得液相摻雜拉制的摻磷硅錠的電阻率()
A.軸向均勻
B.軸向遞減
C.軸向遞増
D.徑向遞減
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判斷題
在空間微重力室用CZ法也能拉制出大尺寸優(yōu)質(zhì)晶錠。
答案:
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多項(xiàng)選擇題
關(guān)于拉單晶時(shí)進(jìn)行的縮頸步驟,下面的說(shuō)法那種正確()
A.可以多次縮頸
B.為了能拉出與籽晶相同的硅錠
C.為了終止籽晶中的線缺陷向晶錠的延伸
D.為了終止與籽晶結(jié)合處的缺陷向晶錠的延伸
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