真空泵填料漏氣的排除方法是（）。

密封元件的密封面被劃傷，將導(dǎo)致密封處泄漏，應(yīng)對密封面（），消除劃傷。

真空泵泵內(nèi)零件損壞或有固體進(jìn)入泵內(nèi)的排除方法是（）。

管道密封不嚴(yán)會(huì)造成真空泵（）。

螺桿泵動(dòng)環(huán)密封圈或靜環(huán)密封圈損壞，會(huì)造成（）。