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刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移?()
A.氧化
B.離子注入
C.光刻
D.拋光
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單項選擇題
注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)?()
A.能量
B.溫度
C.劑量
D.質(zhì)量
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單項選擇題
摻雜后退火時間一般在()。
A.30~60分鐘
B.10~20分鐘
C.60~90分鐘
D.100~120分鐘
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