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多項選擇題

LIGA技術(shù)主要工藝步驟包括（）。

A.MEMS光刻
B.注模復(fù)制
C.X光深度同步輻射光刻
D.電鑄制模
E.MEMS蝕刻

你可能感興趣的試題

多項選擇題

微機械主要特點有（）。

A.超微機械加工
B.性能穩(wěn)定，可靠性高
C.能耗低、靈敏度和工作效率高
D.多功能和智能化
E.適用于大批量生產(chǎn)，制造成本低

多項選擇題

為實現(xiàn)超精密切削，刀具應(yīng)具有以下性能（）。

A.極高的硬度、耐用度和彈性模量
B.刃口能磨得極其鋒銳
C.刀刃無缺陷
D.與工件材料的抗黏結(jié)性好，化學(xué)親和性小，摩擦系數(shù)低
E.刀口半徑值極小

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