單項選擇題

Module制程設(shè)備上通常都有高效過濾器（FFU），其作用是（）。

A.去除設(shè)備內(nèi)靜電
B.對進入設(shè)備內(nèi)的水進行過濾
C.去除設(shè)備內(nèi)異物
D.以上均不是

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單項選擇題

生產(chǎn)時使用的工作臺面應(yīng)當(dāng)使用（）材料。

A.防靜電
B.導(dǎo)電
C.絕緣
D.耐熱

單項選擇題

Pad Cleaning的作用是（）

A.清潔Panel Pad區(qū)異物
B.清潔CELL表面
C.清潔端子
D.清潔CF表面