單項選擇題

微型機電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理、控制電路、接口、通訊和電源等于一體的（）或綜合體。

A.微型機電器件
B.微光學(xué)器件
C.微電子器件
D.微機械器件

微信掃碼免費搜題