A.分子泵B.擴(kuò)散泵C.油回轉(zhuǎn)泵D.低溫泵
A.噪音大B.需要水冷擋板C.啟動(dòng)停止需要時(shí)間D.存在油污染
A.離子源老化B.分析部污染C.內(nèi)漏D.設(shè)定參數(shù)不對(duì)