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【簡答題】為什么使用外延生長難以得到突變結(jié)?
答案:
通常希望外延層和襯底之間界面處的摻雜濃度梯度很陡,但是由于高溫下進行外延生長,襯底中的雜質(zhì)會進入外延層,使得外延層和襯底...
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