填空題

三層同心的ICP炬管其外管通以Ar氣，以切線方向引入，稱為（）氣；中管通以Ar氣，起維持并抬高等離子體焰炬的作用，稱為（）氣；內(nèi)管為1~2mm的細(xì)管做成，通以Ar氣稱為（）氣，以將試樣引入等離子體中。

答案： 工作冷卻；等離子輔助；載
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