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圓光柵的工作過(guò)程屬于接觸式測(cè)量。
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閉環(huán)伺服系統(tǒng)的主要特征是系統(tǒng)內(nèi)沒(méi)有位簧檢測(cè)反饋裝置。
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一個(gè)脈沖所對(duì)應(yīng)置、z軸的位移量稱(chēng)為脈沖當(dāng)量。
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