物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國(guó)內(nèi)外IT 業(yè)界和社會(huì)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識(shí)、感知、處理、信息傳送四個(gè)環(huán)節(jié)。其中“感知”對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。