問答題

【計算題】

制造半導體元件時，常常要精確測定硅片上二氧化硅薄膜的厚度，這時可把二氧化硅薄膜的一部分腐蝕掉，使其形成劈尖，利用等厚條紋測出其厚度。已知硅的折射率為3.42，SiO2折射率為1.5，入射光波長為3.589nm，觀察到7條暗紋（如圖所示）。問SiO2薄膜的厚度e是多少？

答案：

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