填空題
感光高分子是制作大規(guī)模集成電路不可缺少的材料,感光高分子在曝光時(shí)會(huì)發(fā)生二聚反應(yīng),生成不溶性的交聯(lián)高分子硬化膜,未感光部分可用溶劑或其他藥品洗去。常用的感光高分子有聚肉桂酸乙烯酯,它感光后形成二聚交聯(lián)高分子。它的結(jié)構(gòu)簡式如下圖: