LIGA是一種全新的微細(xì)加工技術(shù)，可以進(jìn)行批量化生產(chǎn)，其工藝包括（）

數(shù)控系統(tǒng)是數(shù)控機(jī)床的控制系統(tǒng)，它的組成是（）

敏捷制造模式下的動(dòng)態(tài)聯(lián)盟是一種（）

決定IC特征尺寸大小的是（）

超聲加工的符號(hào)是（）