⑴穿導(dǎo)電鞋或防靜電鞋;⑵使用導(dǎo)電地板。
⑴應(yīng)通入N2使內(nèi)部壓力高過(guò)外部壓力不使水份和氧進(jìn)入; ⑵控制床層溫度; ⑶切蒸汽時(shí)保證蒸汽溫度高于露點(diǎn)溫度50℃以上。