判斷題

ESD關斷分為四級:第一級為全廠關斷并泄壓;第二級為全廠關斷;第三級為工藝系統(tǒng)關斷;第四級為工藝系統(tǒng)單元或單個設備關斷。

答案: 正確
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一級關斷將引起二級關斷。

答案: 正確
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