A.殘氣收集裝置 B.殘氣過(guò)濾裝置 C.輸送管道和連接裝置 D.殘氣處理管 E.排除裝置
A.0.1~0.2MPa B.0.2~0.3MPa C.0.3~0.4MPa D.0.4~0.5MPa E.0.5~0.6MPa
A.N2 B.O2 C.N2O D.CO2 E.Air