在擴(kuò)散硅壓力傳感器，其敏感元件周邊固定圓膜片，當(dāng)（）具有最大負(fù)應(yīng)力。

低頻透射式渦流傳感器的測(cè)量原理是：當(dāng)發(fā)射線圈和接收線圈之間放入金屬板后，引起接收線圈感應(yīng)電勢(shì)E2的變化，金屬板的（）越大，E2就（）。通常，測(cè)薄導(dǎo)體時(shí)，激勵(lì)頻率（），測(cè)厚導(dǎo)體時(shí)激勵(lì)頻率應(yīng)（）。測(cè)ρ較小的材料時(shí)，應(yīng)選（）的頻率，而測(cè)ρ較大的材料（黃銅、鋁）時(shí)，則選用（）的頻率。

當(dāng)自感式傳感器結(jié)構(gòu)和材料確定后，電感L為氣隙截面積S及空氣隙長度δ的函數(shù)。S固定，可構(gòu)成（）傳感器。δ固定，可構(gòu)成（）傳感器。

在霍爾元件的主要指標(biāo)中，KH是指（）靈敏度。

比較低頻透射式和高頻反射式渦流傳感器測(cè)厚度的原理有什么不同？