在擴(kuò)散硅壓力傳感器，其敏感元件周邊固定圓膜片，當(dāng)（）具有最大負(fù)應(yīng)力。

當(dāng)自感式傳感器結(jié)構(gòu)和材料確定后，電感L為氣隙截面積S及空氣隙長度δ的函數(shù)。S固定，可構(gòu)成（）傳感器。δ固定，可構(gòu)成（）傳感器。

比較低頻透射式和高頻反射式渦流傳感器測厚度的原理有什么不同？

柵線密度為50線/mm的光柵，其柵線間距為（）。

分析測量結(jié)果波形有無失真。