A.1%~5% B.1%~3% C.0.5%~1%
A.1~2 B.3~15 C.5~20 D.2~5
A.流量控制器 B.泵和儀器出口連接處 C.儀器內(nèi)部氣樣過濾器、反應(yīng)室和流量計(jì) D.外部管道和所有接頭