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影響缺陷定位精度的儀器性能主要是水平線性。
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平行聲束在凹曲面上反射時(shí)總是匯聚。
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當(dāng)量法制只適用于測(cè)量線度遠(yuǎn)小于聲束截面的缺陷。
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