填空題
擴(kuò)散的目的是為了實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體摻雜,雜質(zhì)擴(kuò)散的深度與()有關(guān),服從()。雜質(zhì)擴(kuò)散通常分為等表面濃度擴(kuò)散,也(),和固定雜質(zhì)總量擴(kuò)散,也稱()。預(yù)淀積的分布是()函數(shù),再分布擴(kuò)散的雜質(zhì)呈()函數(shù)分布。
答案:
雜質(zhì)濃度梯度、擴(kuò)散溫度、擴(kuò)散時(shí)間;費(fèi)克定律;預(yù)淀積;再分布擴(kuò)散;余誤差;高斯