RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在，一是競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，二是（），三是靈活性。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。